量測室

量測室

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  • 基地：高精度花崗岩平台
    • 測量行程（X.Y.Z）三軸：300mm * 200mm * 200mm
    • 量測平台尺寸：505毫米* 355毫米
    • 承受重量：25Kg
  • X. Y. Z軸伺服電機
    • 最大移動速度：
    • X. Y. Z軸120毫米/秒
  • 光學尺：
    • X. Y. Z軸，分辨率0.5um
    • X.Y.Z軸，（3 + L / 150）μm
    • 機體：C型結構
    • 外觀整體尺寸：
    • 1070mm * 850mm * 1900mm


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